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EJA110A单晶硅谐振工作原理

日期:2020-07-07 07:24
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摘要: EJA110A单晶硅谐振工作原理 EJA110A差压送器由单晶硅谐振式传感器上的两上H形的振动梁分别将差压、压力信号转换成频率信号,送到脉冲计数器,再将两频率之差直接传递到CPU进行数据处理,经D/A转换器转换为与输入信号相对应的4~20mADC的输出信号,并在模拟信号上叠加一个BRAIN协议。横河BRAINF协议可以用横河的BT200手操器进行通信及调试参数。/HART协议可以用艾默生的HART275.HART375.HART475手操器进行通信及调试参. 膜盒组件中内置的特性...

                                                                  EJA110A单晶硅谐振工作原理

       EJA110A差压送器由单晶硅谐振式传感器上的两上H形的振动梁分别将差压、压力信号转换成频率信号,送到脉冲计数器,再将两频率之差直接传递到CPU进行数据处理,经D/A转换器转换为与输入信号相对应的4~20mADC的输出信号,并在模拟信号上叠加一个BRAIN协议。横河BRAINF协议可以用横河的BT200手操器进行通信及调试参数。/HART协议可以用艾默生的HART275.HART375.HART475手操器进行通信及调试参.
        膜盒组件中内置的特性修正存贮器存贮传感器的环境温度、静压及输入/输出特性修正数据,经CPU运算,可使变送器获得优良的温度特性和静压特性及输入/输出特性。 通过I/O口与外部设备(如手持智能终端BT200或275以及DCS中的带通信功能的I/O卡)以数字通信方式传递据,即高频2.4kHz(BRAIN协议)或1.2kHz(HART协议)数字信号叠加在4~20mA信号线上,在进行通讯时,频率信号对4~20mA信号不产生任何的影响。

1 EJA110A单晶硅谐振工作结构原理单晶硅谐振传感器的核心部分,即在一单晶硅芯片上采用微电子机械加工技术(MEMS),分别在其表面的中心和边缘作成两个形状、大小完全一致的H形状的谐振梁(H型状谐振器有两个振梁),且处于微型真空腔中,使其即不与充灌液接触,又确保振动时不受空气阻尼的影响。
2、 EJA110A单晶硅谐振梁振动原理 硅谐振梁处于由长久磁铁提供的磁场中,与变压器、放大器等组成一正反馈回路,让谐振梁在回路中产生振荡。
3、 受力情况 当单晶硅片的上下表面受到压力并形成压力差时将产生形变,中心处受至压缩力,边缘处受到张力,因而两个形状振梁分别感受不同应变作用,其结果是中心谐振梁受压缩力而频减少,边侧谐振梁因受张力而频率之差对应不同的压力信号。
4.    EJA110A差压送器是双引压口式。在位于高压侧和低压侧的金属膜片受到过程压力,通过密封液分别传送到单晶硅片的上下两面。在单晶硅片中,有2个振子腔体,2个振子的固有频率之差就是差压信号。真空腔体中的振子是经过精细加工的(H型谐振梁的长约700µm,宽约25µm,厚约5µm)。由于振子H型谐振梁的4端与单晶硅连接,所以当单晶硅变形时,振子振动频率与压力差成正比例,固有振动频率发生变化。通过永磁体给振子一个磁场,振子的半片和剩余的半片构成一个励磁电路,测量出该电路的固有频率,将该固有频率与另一个振子的固有频率之差转换成差压信号。将差压信号转换成4-20mA、脉冲或数字信号输出。

 
5.EJA110A优良性能 1、 优良的温度影响特性 2、 优良的静压影响特性 3、 优良的单向过压特性
EJX系列产品: 是采用单晶硅传感器的高品质的电子差压变送器,适用于液体、气体或蒸汽的流量以及液位、密度和压力测量。可以通过内藏显示表或BRAIN协议或HART通讯协议显示其静压。还具有快速响应、通讯协议远程设定、自诊断功能以及任选高/低压力报警状态输出功能等特征。可提供FF现场总线型。 EJX系列标准配置具有TUV认证。除FF现场总线型外都适用于SIL2场合。
 

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